Fusion-Bonding, DRIE und Co. Verfahrenstechniken für MEMS-Niederdruckmesszellen auf Siliziumbasis Nur wenige Unternehmen bieten Niederdrucksensoren für Drücke unter 20 mbar an, da sie nicht ganz einfach zu fertigen sind. Die Lösung liegt in einer Kombination von Verfahrenstechnologien. Stefan Falk 9. October 2019