Tag: euv-lithographie

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Revolution bei EUV-Lithografie steigert Energieeffizienz

Durch ein vereinfachtes optisches System könnte die Technologie des Okinawa Institute of Science und Technology die Branche verändern. Sie ermöglicht neue Möglichkeiten für nachhaltige und kosteneffiziente Halbleiterproduktion.

Martin Probst

26. August 2024

Samsung startet 7-nm-Produktion mit EUV-Lithographie

Samsung hat nach abgeschlossener Entwicklung der Prozesstechnologie mit der Waferproduktion seines Prozessknotens 7LPP begonnen, bei dem auch die EUV-Lithographie zum Einsatz kommt.

Redaktion

22. October 2018