Fortschritt für CMOS 2.0 Imec: Hybridbonding mit 200 nm Pitch demonstriert Imec und EV Group zeigen eine Wafer-zu-Wafer-Hybridbonding-Technologie mit 200 nm Pitch für Kupferverbindungen. Die Entwicklung soll künftige Logik-zu-Logik- und Speicher-zu-Logik-Stacks ermöglichen. Martin Probst 28. May 2026