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MEMS-Inertialsensoren mit hoher Auflösung

First Sensor präsentiert eine neue Technologieplattform für hochgenaue Inertialsensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration. Die kapazitiven Sensoren basieren auf einkristallinen Silizium-Sensorelementen und neusten mikromechanischen Herstellungsverfahren.