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Schaltkreisfehler mittels Scandiagnose und RCD aufspüren

So lässt sich die Ausbeute in der Halbleiterherstellung erhöhen

Ein neuartiger Ansatz für das Auffinden von Schaltkreisausfällen verbessert die Ausbeute bei aktuellen Technologieknoten in der Halbleiterherstellung. Damit lassen sich gerade in der Serienfertigung Einschränkungen beim Yield vermeiden.

Manish Sharma, Jayant D’Souza, Hans Eisenmann und Thomas Zanon

25. July 2023