Tag: piezoeffekt

Mikro-Lautsprecher, Gyroskope und Durchflussmesser

MEMS mit Multiphysic-Tools simulieren und verstehen

Multiphysik-Tools lassen sich zur Simulation vieler MEMS-Anwendungen einsetzen, um beispielsweise Wechselwirkungen besser zu verstehen oder das Zusammenspiel von Piezo-Effekten und Corioliskraft in Gyroskopen zu analysieren. Die Bildergalerie zeigt einige Beispiele.

Martin Large

15. February 2021

Fusion-Bonding, DRIE und Co.

Verfahrenstechniken für MEMS-Niederdruckmesszellen auf Siliziumbasis

Nur wenige Unternehmen bieten Niederdrucksensoren für Drücke unter 20 mbar an, da sie nicht ganz einfach zu fertigen sind. Die Lösung liegt in einer Kombination von Verfahrenstechnologien.

Stefan Falk

9. October 2019

Energy Harvesting mit dem Piezoeffekt

Richtig ernten

Auch Energy Harvesting ist nicht immer gleich Energy Harvesting. Je nach Anwendung eignen sich unterschiedliche Technologien für die Energieernte. Das piezobasierte Energy Harvesting kann in vielen Applikationen eine passende Energieversorgung sein, wenn Piezowandler, Mechanik und Elektronik unter Berücksichtigung der applikationsspezifischen Randbedingungen aufeinander abgestimmt sind.

Birgit Schulze

12. September 2011

Tag: piezoeffekt

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MEMS mit Multiphysic-Tools simulieren und verstehen

Verfahrenstechniken für MEMS-Niederdruckmesszellen auf Siliziumbasis

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