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Thermografie mittels Thermoreflectance Imaging

Eine der größten Herausforderungen bei der weiteren Miniaturisierung von integrierten Schaltkreisen ist die Hitzeentwicklung unter Betriebsbedingungen. Die Analyse der Charakteristik und der Temperaturverteilung im Chip ist essenziell für bessere Designs und Layouts. Unter den gängigen Methoden der Temperaturmessung in Mikrometer- und Submikrometerchips ist die Infrarotthermografie die häufigste. Neu sind Geräte, die die Thermoreflectance-Methode anwenden.