Europa baut seine Halbleiterbasis aus
NanoIC-Pilotlinie am Imec: Europas Angriff auf die 2-nm-Grenze
Mit der Einweihung der NanoIC-Pilotlinie am Imec in Leuven setzt Europa einen weiteren Schritt zur Stärkung seiner Halbleiterkompetenz. Der Ausbau aktueller Reinraumkapazitäten soll Forschung, Industrie und politische Ziele im Rahmen des European Chips Act zusammenführen.
Einweihung der NanoIC-Linie am Imec: (v.l. Patrick Vandenmeele, CEO-elect Imec, Thomas Skordas, Europäische Kommission, Luc Van den hove, CEO Imec, Henna Virkkunen, Europäische Kommission, Matthias Diepnedaele, MP Flandern, Jari Kinaret, Executive Director Chips JU und Christophe Fouquet, CEO ASML)
Imec
Imec, eines der weltweit führenden Forschungszentren für Halbleitertechnologie, hat an seinem Hauptsitz in Leuven eine 2000 m² große Reinraum-Erweiterung eröffnet. Der Ausbau ist ein zentraler Baustein der europäischen NanoIC-Pilotlinie im Rahmen des European Chips Act und stärkt Europas Position in der Halbleiterforschung und Chipfertigung der nächsten Generation.
An der Eröffnung nahmen hochrangige Vertreter aus Politik und Industrie teil, darunter EU-Vizepräsidentin Henna Virkkunen, der belgische Premierminister Bart De Wever, der flämische Ministerpräsident Matthias Diependaele sowie ASML-CEO Christophe Fouquet.
Mit inzwischen über 12.000 m² Reinraumfläche ist Imec ein zentraler Akteur für die Umsetzung des European Chips Act. Ziel ist es, Europas technologische Souveränität in der Halbleiterindustrie zu stärken und insbesondere im Zeitalter von Künstlicher Intelligenz und Hochleistungsrechnen wettbewerbsfähig zu bleiben.
High-NA-EUV-Technologie für Halbleiter unter 2 Nanometer
Die neue Reinraum-Erweiterung ist für aktuellste Halbleiterprozesse ausgelegt. Dazu zählt insbesondere die Integration eines High-NA-EUV-Scanners der nächsten Generation von ASML, dessen Installation für Mitte März geplant ist. High-NA-EUV gilt als Schlüsseltechnologie für die Strukturierung von Logikchips jenseits des 2-Nanometer-Knotens und ist damit entscheidend für zukünftige KI-Prozessoren und Hochleistungsrechner.
Laut Imec-CEO Luc Van den hove hat das Forschungsinstitut seit der Entscheidung im Mai 2024, die NanoIC-Pilotlinie in Leuven anzusiedeln, die Beschaffung von Lithographie- und Prozesswerkzeugen beschleunigt und parallel ein umfangreiches Rekrutierungsprogramm gestartet.
In der NanoIC-Pilotlinie arbeiten Forschende von Imec gemeinsam mit Halbleiterherstellern, Foundries, Ausrüstungs- und Materiallieferanten, Systemunternehmen, Start-ups, Universitäten sowie weiteren europäischen Forschungs- und Technologieorganisationen. Ziel ist es, neue Halbleitertechnologien frühzeitig zu entwickeln, zu validieren und für industrielle Anwendungen zugänglich zu machen.
NanoIC-Pilotlinie als Kern des European Chips Act
Der Ausbau in Leuven ist Teil einer langfristigen Strategie. Imec plant bereits den Bau eines weiteren Reinraums mit 4000 m² Fläche auf seinem Campus. Damit soll die europäische NanoIC-Initiative weiter beschleunigt werden.
In den kommenden fünf Jahren sollen im Rahmen der NanoIC-Pilotlinie mehr als hundert neue Werkzeuge installiert werden. Diese verteilen sich auf Imec sowie auf die Partnerinstitutionen CEA Leti in Frankreich, Fraunhofer in Deutschland, VTT in Finnland, CSSNT UPB in Rumänien und das Tyndall National Institute in Irland. Gemeinsam entsteht ein europaweites Netzwerk für fortschrittliche Halbleiterforschung, Prozessentwicklung und Pilotfertigung.
Europäische Halbleiterstrategie setzt auf Kooperation
Für den flämischen Ministerpräsidenten Matthias Diependaele ist die NanoIC-Pilotlinie ein Beispiel für eine strategische europäische Industriepolitik. Europa entscheide sich bewusst dafür, technologische Exzellenz und internationale Zusammenarbeit zu fördern, um langfristig unabhängig und wettbewerbsfähig zu bleiben. Die Rolle von imec unterstreiche die Bedeutung Flanderns als führender Standort für Halbleiterforschung.
Auch ASML-CEO Christophe Fouquet hob die Bedeutung der Initiative für das europäische Halbleiter-Ökosystem hervor. Die langjährige Partnerschaft zwischen ASML und imec habe entscheidend dazu beigetragen, Innovationen in der Chipfertigung voranzutreiben, Talente zu fördern und Europas Rolle im globalen Halbleitermarkt zu stärken. Die Integration von High-NA-EUV in die NanoIC-Pilotlinie zeige, welches Innovationspotenzial durch enge Zusammenarbeit entsteht.
Finanzierung durch EU und Mitgliedsstaaten
Der Aufbau und Betrieb der NanoIC-Pilotlinie wird über das Chips Joint Undertaking finanziert. Die Mittel stammen aus den EU-Programmen Digital Europe und Horizon Europe sowie von den beteiligten Staaten Belgien mit Flandern, Frankreich, Deutschland, Finnland, Irland und Rumänien. Weitere Informationen zum Projekt sind unter nanoic-project.eu verfügbar.
