Was OLED-Nanopixel für neue Optik-Anwendungen leisten
OLED auf Zellebene: ETH revolutioniert die Optik
Forschende der ETH Zürich haben organische Leuchtdioden auf die Nanoskala miniaturisiert – rund hundertmal kleiner als eine menschliche Zelle. Die Technologie eröffnet neue Wege in Optik, Sensorik und Datenübertragung. Doch das ist erst der Anfang.
Dieses Logo der ETH Zürich besteht aus 2800 Nano-Leuchtdioden und ist mit einer Höhe von 20 Mikrometern ähnlich groß wie eine menschliche Zelle. Ein einzelner Pixel misst rund 0,2 Mikrometer (200 Nanometer).Amanda Paganini / ETH Zürich
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Die wichtigsten Erkenntnisse zu Nano-OLED auf einen Blick
Die ETH Zürich hat OLED-Pixel erstmals auf rund 100 Nanometer verkleinert und damit eine bis zu 2500-fach höhere Pixeldichte ermöglicht.
Die Nano-OLED eröffnen neue Anwendungen in AR-Displays, Mikroskopie, Biotechnologie und optischer Lichtsteuerung.
Durch die Integration in bestehende Halbleiterprozesse ist der Weg zur industriellen Nutzung und zu holografischen 3D-Anwendungen realistisch.
Möglich wurde dies durch den Einsatz von Siliziumnitrid als Maskenmaterial. Diese Keramik bildet extrem dünne, stabile Membranen, die nicht durchhängen und sich für hochpräzise Musterungen eignen. Die fertigen Masken erlauben eine Pixelplatzierung mit einer Dichte von bis zu 2500-mal höher als in bisherigen OLED-Bildschirmen.
Welche Anwendungen sind durch Nano-OLED denkbar?
Die extrem kleine Pixelgröße schafft die Grundlage für eine Vielzahl neuer Anwendungen. In der Displaytechnik könnten ultrahochauflösende Bildschirme realisiert werden, etwa in Augmented-Reality-Brillen, bei denen das Bild nahe am Auge gestochen scharf erscheinen muss. Als Beispiel dient ein ETH-Logo, das aus 2800 OLED-Nanopixeln besteht und in etwa die Größe einer menschlichen Zelle erreicht.
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Darüber hinaus eröffnen sich Perspektiven in der Mikroskopie: Nano-Pixel-Felder könnten als Lichtquelle genutzt werden, um kleinste Probenbereiche gezielt zu beleuchten. Einzelbilder ließen sich anschließend zu einem hochaufgelösten Gesamtbild zusammensetzen. Denkbar sind auch Anwendungen in der Biotechnologie, beispielsweise als Sensoren zur Messung neuronaler Signale auf Zellebene.
a) Schematische Querschnittsansicht einer Nanostencil in engem Kontakt mit dem Substrat. Die freistehende SiNₓ-Membran (Siliziumnitrid) ist zum Substrat hin ausgerichtet und durch einen Luftspalt von 0,5–1 µm davon getrennt.
b) Darstellung des Herstellungsprozesses von Nano-OLEDs (organische Leuchtdioden). Nach dem Spin-Coating der HIL (Lochinjektionsschicht) und der Isolierschicht wird eine Nanostencil ausgerichtet und auf dem Substrat befestigt, die als Maske für das Ätzen und die thermische Verdampfung der organischen Nanopixel dient, die aus der HTL (Lochtransportschicht) und der EML (emittierende Schicht) bestehen, was zu einer selbstausgerichteten Pixelisolierung führt. Die nachfolgenden Schichten, ETL (Elektronentransportschicht) und Kathode, werden als durchgehende Filme aufgebracht.
c) SEM-Bilder (Rasterelektronenmikroskopie) der Nanopixel in verschiedenen Schritten des Herstellungsprozesses. Die Nanostencil weist eine quadratische Anordnung kreisförmiger Nanoöffnungen mit einem Durchmesser von 100 nm und einer Periodizität von 300 nm auf.
d) Foto eines Nano-OLED-Geräts, das mit 5,0 V betrieben wird (links), und die optische Mikrographie (Mitte) einer Nanopixelanordnung, die das Logo „ETH Zürich” mit 50.000 ppi (Pixel pro Zoll) anzeigt. Jedes Logo besteht aus etwa 2.800 Nanopixeln, und das REM-Bild (rechts) zeigt einen Teil der Nanopixelanordnung. Die Nanodisc-OLED-Pixel haben einen Durchmesser von 200 nm und eine Periodizität von 500 nm.ETH Zürich / https://www.nature.com/articles/s41566-025-01785-z/figures/1
Wie funktionieren die optischen Effekte bei Nano-OLED?
Durch die Miniaturisierung auf eine Dimension unterhalb der Wellenlänge des Lichts treten neue physikalische Effekte auf. Lichtwellen benachbarter Pixel können miteinander in Wechselwirkung treten. Das ermöglicht die gezielte Steuerung von Lichtausbreitung, Polarisation und Richtung. Das Prinzip erinnert an überlagerte Wasserwellen, die geometrische Interferenzmuster erzeugen.
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Diese Interferenzeffekte lassen sich nutzen, um Licht nur in bestimmten Winkeln abzustrahlen – ein Ansatz, der die Entwicklung von Phased-Array-Optiken auf optischer Skala ermöglicht. Damit wird ein gezieltes Lenken und Fokussieren von Licht analog zu modernen Radartechnologien denkbar.
Warum ist die Integration in bestehende Technik wichtig?
Die von der ETH entwickelte Methode lässt sich in bestehende Lithografieverfahren der Halbleitertechnik integrieren. Im Gegensatz zu bisherigen OLED-Fertigungsverfahren, die auf das nachträgliche Aufdampfen von Materialien und den Einsatz dicker Metallmasken setzen, erlaubt die neue Technik präzise und skalierbare Strukturen im Nanobereich.
Dies vereinfacht nicht nur die industrielle Produktion, sondern verbessert auch die Effizienz bei der Weiterentwicklung integrierter optischer Systeme. Die Übertragbarkeit auf etablierte Produktionsmethoden ist ein entscheidender Schritt hin zur kommerziellen Nutzung der Technologie.
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Welche Perspektiven eröffnet die Technologie?
Die nächste Entwicklungsstufe besteht in der gezielten Ansteuerung einzelner OLED-Nanopixel. Dies ist Voraussetzung für dynamische Lichtsteuerung in Echtzeit und für komplexe Anwendungen wie die Meta-Pixel-Technologie. Durch die Kopplung mehrerer wechselwirkender OLED könnten neue Lichtquellen mit definierter Raumstruktur entstehen.
Langfristig wären damit holographische 3D-Projektionen möglich, bei denen Lichtinformationen dreidimensional im Raum verteilt werden. Der Ansatz geht über klassische Displaytechnik hinaus und eröffnet neue Konzepte für Visualisierung, Kommunikation und Sensortechnik – mit potenziellen Anwendungen in der Medizin, Informationsverarbeitung und Datenübertragung.
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Häufig gestellte Fragen zu Nano-OLED
Was sind Nano-OLED?
Nano-OLED sind organische Leuchtdioden im Bereich von etwa 100 Nanometern, deutlich kleiner als klassische OLED-Pixel.
Warum gelten Nano-OLED als technologischer Durchbruch?
Sie ermöglichen extrem hohe Pixeldichten – bis zu 2500-mal höher als heutige OLED-Bildschirme.
Welche Anwendungen profitieren von Nano-OLED?
AR/VR-Displays, Mikroskope, biotechnologische Messsysteme und optische Präzisionslichtquellen.
Wie lassen sich Nano-OLED optisch steuern?
Durch Interferenzeffekte auf Sub-Wellenlängen-Niveau können Abstrahlwinkel und Polarisation gezielt beeinflusst werden.
Wie gut ist die Technik in bestehende Fertigung integrierbar?
Die Methode ist kompatibel mit gängigen Lithografieprozessen der Halbleiterindustrie.
Welche langfristigen Perspektiven eröffnet die Nano-OLED-Technologie?
Meta-Pixel, dynamische Lichtsteuerung, holografische 3D-Projektionen und neue optoelektronische Systeme.