Siliziumkarbid (SiC) gewinnt in der Leistungselektronik an Bedeutung. Das EU-Projekt FastLane entwickelt neue Materialien und Packaging-Lösungen, um Effizienz, Versorgungssicherheit und Wirtschaftlichkeit in Europa gezielt zu verbessern.
Sebastian FritzscheSebastianFritzsche
Dirk BauerDirkBauer
4 min
Adobe Stocks, bearbeitet von Heraeus Electronics
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Die globale Elektronikindustrie befindet sich in einem
tiefgreifenden Wandel, angetrieben durch die Nachfrage nach höherer Effizienz,
ökologischer Nachhaltigkeit und strategischer Autonomie. In diesem sich
wandelnden Umfeld hat sich Siliziumkarbid (SiC) als ein zentraler Wegbereiter
für Leistungsanwendungen der nächsten Generation etabliert. Um dieses Potenzial
vollständig auszuschöpfen, unterstützt das 2024 gestartete europäische Projekt
FastLane die Unabhängigkeit der EU bei kritischen Rohstoffen, entwickelt eine
eigenständige SiC-Rohstoff- und Bauelementelieferkette und erweitert die
Funktionalitäten von SiC, um bestehende Einschränkungen zu überwinden.
Die umfassende Struktur des Projekts erstreckt sich über
mehrere Arbeitspakete und kooperative Aktivitäten und deckt die gesamte
Wertschöpfungskette der SiC-Leistungselektronik ab. Dazu gehören
Materialentwicklung, Bauelementefertigung, Packaging-Innovationen und die
abschließende Systemintegration.
Überblick über die Projektpartner im KonsortiumFastLane Project
Materialinnovationen für SiC-Leistungsmodule
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Innerhalb des FastLane-Konsortiums spielt die
Materialentwicklung eine zentrale Rolle, um Aufbau und Leistung
fortschrittlicher SiC-Leistungsmodule zu ermöglichen. Zu den Mitwirkenden
gehört Heraeus Electronics, das die Integration von sechs unterschiedlichen
SiC-Moduldesigns durch drei spezialisierte Packaging-Technologien unterstützt.
Diese Innovationen adressieren zentrale Herausforderungen im Wärmemanagement,
in der elektrischen Performance und in der Zuverlässigkeit – allesamt
entscheidende Faktoren für die Leistungselektronik der nächsten Generation.
Der Schwerpunkt des Unternehmens liegt auf der Entwicklung
umweltverträglicher Materialien, die Miniaturisierung, Forward-Integration und
hocheffiziente Energieumwandlung ermöglichen. Als Reaktion auf branchenweite
Veränderungen – etwa den Aufstieg der E-Mobilität, von KI und
Kommunikationstechnologien der nächsten Generation – ist kollaborative
Innovation entlang der gesamten Wertschöpfungskette unerlässlich geworden.
Heraeus Electronics beteiligt sich an gemeinsamen Forschungsaktivitäten mit
akademischen Einrichtungen, Start-ups, Ausrüstungsanbietern und Endanwendern
und trägt über EU-geförderte Initiativen und Industrieverbände zur Entwicklung
des gesamten Ökosystems bei.
Um das FastLane-Projektziel einer höheren Effizienz von
Leistungsmodulen zu erreichen, ermöglichen SiC-Dies einen Betrieb bei >175
°C, mit höheren Schaltfrequenzen und gesteigerten Leistungsdichten. Für ihre
effektive Nutzung werden jedoch fortschrittliche Packaging-Materialien
benötigt. Heraeus bringt im Rahmen von FastLane folgende Schlüsselinnovationen
ein:
Ag-Sinterpasten zur Befestigung von Active-Metal-Brazed-(AMB)-Substraten ohne Edelmetalloberflächen
Ag-freie AMB-Substrate mit Designs zur Verringerung parasitärer Induktivitäten
Die Top System (DTS) für zuverlässiges Cu-Bonden auf SiC-Dies
Materialinnovationen in leistungselektronischen Modulen zur Bewältigung zentraler Herausforderungen in Wärmemanagement, elektrischer Performance und Zuverlässigkeit.Heraeus Electronics
1. Silbersintern zur Befestigung von AMB-Substraten auf
Aluminium-Grundplatten
Um sowohl Kosten als auch Gewicht beim Packaging von
SiC-Leistungsmodulen zu reduzieren, hat Heraeus die Silbersinterpaste PE 360P
entwickelt. Sie ermöglicht die Befestigung von
Active-Metal-Brazed-(AMB)-Substraten auf Aluminium-Grundplatten, ohne dass Edelmetalloberflächen
erforderlich sind.
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Diese Innovation bietet erhebliche Vorteile:
• Bis zu 70 Prozent Gewichtsreduktion
• Kosteneinsparungen von bis zu 91 Prozent gegenüber Kupfer-Grundplatten
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Erste Ergebnisse mit PE 360P zeigen bereits bei
Cu-beschichteten Al-Grundplatten nach 1500 Temperaturzyklen (–55 °C/+150 °C)
eine robuste Haftung der AMB-Substrate und minimale Delamination (<5 Prozent),
vergleichbar mit ähnlichen Ag-beschichteten Grundplatten. Im Gegensatz dazu
gewährleisten Ni-beschichtete Al-Grundplatten keine ausreichende Haftung. Die
laufenden Arbeiten konzentrieren sich daher auf die weitere Optimierung des
Ag-Sinterns direkt auf mit Nichtedelmetallen beschichteten Al-Oberflächen.
Dieser Ansatz unterstützt ein skalierbares und
kosteneffizientes Packaging für hochleistungsfähige SiC-Module.
Schematische Darstellung von auf Grundplatten gesinterten AMBs.Heraeus Electronics
2. Silberfreie, induktivitätsarme AMB-Substrate
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Die zweite große Innovation konzentriert sich auf die
Entwicklung silberfreier, induktivitätsarmer AMB-Substrate auf Basis von
Si₃N₄-Keramik. Ziel ist es, parasitäre Induktivitäten zu senken und
gleichzeitig die Kosteneffizienz zu verbessern.
Wesentliche Vorteile sind:
• Niedrigere Kosten durch Verzicht auf Silber (Ag-Gehalt
>60 Gew.-Prozent in herkömmlichen AMB-Pasten)
• Geringere Ag-Migration für eine höhere Zuverlässigkeit
• Überlegene Performance im Vergleich zu traditionellen DCB-Substraten (Direct
Copper Bonded)
Ergebnisse der Rasterakustikmikroskopie nach thermischem Zyklieren von AMBs, die auf drei unterschiedlichen Grundplattentypen befestigt wurden.Heraeus Electronics
Die Rasterakustikmikroskopie bestätigte die Zuverlässigkeit
dieser AMB-2.0-Substrate nach Temperaturschocktests (–65 °C bis +150 °C). Ihre
Performance ist mit Ag-haltigen AMB-Substraten vergleichbar, übertrifft
DCB-Substrate und erfüllt sämtliche Kundenspezifikationen. Als nächster Schritt
ist ihre Integration in Valeos induktivitätsarme Leistungsmodule vorgesehen.
Diese Innovation stärkt zudem die europäische
AMB-Lieferkette, da sich alle wichtigen Fertigungspartner – einschließlich
Metall- und Keramiklieferanten sowie des Technologie- und Produktionsstandorts
von Heraeus Electronics – in Europa befinden. Das trägt zur Risikominimierung
bei, verbessert die Stabilität der Lieferkette, reduziert CO₂-Emissionen und
stärkt die Marktposition der EU. Um weltweit sichere Lieferfähigkeit zu
gewährleisten, verfolgt Heraeus Electronics zusätzlich eine
Dual-Source-Strategie in Asien.
3. Die Top System für Kupferdrahtbonden
Der dritte Baustein adressiert die Oberseitenkontaktierung,
einen entscheidenden Faktor für hohe Zuverlässigkeit in SiC-Modulen. Heraeus
hat das Die Top System (DTS) in Zusammenarbeit mit europäischen Partnern
entwickelt. Dieses System basiert auf einer Kupferfolie mit bereits
aufgebrachtem Sintermaterial und ermöglicht Kupferdrahtbonden mit einer mehr
als zehnfach verbesserten Zuverlässigkeit im Vergleich zu
Aluminium-Bondverbindungen.
Das industrialisierte DTS-Silver ersetzt die
NiPdAu-Metallisierung durch eine Ag-Beschichtung und gewährleistet damit:
Vereinfachtes Sintern
Zuverlässiges Kupferbonden auf SiC-Dies
Ergebnisse der Rasterakustikmikroskopie nach thermischem Zyklieren von AMB- und DCB-Substraten.Heraeus Electronics
Zur künftigen Weiterentwicklung gehört laserstrukturiertes
DTS-Silver für feinere Drahtbondgeometrien bis hinunter zu 0,5 × 0,5 mm².
Diese fortschrittlichen Interconnects werden in FastLane-Leistungsmodulen auf
Performance und Zuverlässigkeit bewertet.
Erste Ergebnisse aus dem FastLane-Projekt
Im ersten Jahr von FastLane haben Heraeus Electronics und
seine Partner erfolgreich drei zentrale Packaging-Innovationen geliefert:
Entwicklung einer Ag-Sinterpaste zur Befestigung von AMB-Substraten auf Ag-metallisierten Aluminium-Grundplatten als Ersatz für konventionelles Kupfer
Entwicklung silberfreier AMB-Substrate auf Basis von Si₃N₄-Keramik zur Senkung von Kosten und Induktivität
Entwicklung von DTS-Systemen für zuverlässiges und kosteneffizientes Kupferdrahtbonden auf SiC-Dies
Diese Technologien befinden sich nun in der Integrations-
und Zuverlässigkeitserprobung über mehrere Anwendungsfälle für Leistungsmodule
hinweg. Diese Arbeiten laufen bis Juni 2027 weiter – mit dem Ziel, Performance,
Effizienz und Resilienz von SiC entlang der europäischen Wertschöpfungskette
für Leistungselektronik zu steigern.
Ausblick auf die Weiterentwicklung von SiC in Europa
Durch die Integration fortschrittlicher SiC-Technologien in
maßgeschneiderte Demonstratoren in den Bereichen Mobilität und Energie erfüllt
FastLane fünf zentrale Zielsetzungen:
Das Projekt will die Umweltwirkungen der Leistungselektronik
verringern, indem die Energieeffizienz verbessert und der CO₂-Fußabdruck von
Materialien und Prozessen gesenkt wird. Gleichzeitig trägt es dazu bei, die
europäische Souveränität bei kritischen Rohstoffen zu stärken, indem eine
unabhängigere und widerstandsfähigere SiC-Lieferkette aufgebaut wird.
Schematische Darstellung des Die Top System DTSHeraeus Electronics
Darüber hinaus konzentriert sich das Projekt darauf, neue
Funktionalitäten in SiC-Bauelementen und im Packaging zu erschließen, um einen
Betrieb bei höheren Temperaturen, Schaltfrequenzen und Leistungsdichten zu
ermöglichen. Die Kostenoptimierung wird durch Innovationen bei Materialien und
skalierbaren Fertigungstechniken vorangetrieben. Schließlich unterstützt
FastLane die beschleunigte Innovation in der Leistungselektronik der nächsten
Generation, indem es die Zusammenarbeit zwischen Forschungseinrichtungen,
Industriepartnern und Technologieentwicklern fördert – und letztlich die
Nutzbarkeit und Bezahlbarkeit für Endanwender verbessert.
Die Beiträge aller FastLane-Partner ermöglichen die
Entwicklung von SiC-Leistungsmodul-Demonstratoren, die auf spezifische
Endanwenderanwendungen zugeschnitten sind.
E-Mobilität:
Leichte Nutzfahrzeuge (UCs 1.1 & 1.2a) für Anwendungen mit hohen
Stückzahlen
Ultra-Class-Haul-Trucks (UC 1.2b) für Hochleistungsanwendungen in
anspruchsvollen Heavy-Duty-Umgebungen
Energiesysteme:
Leistungsinverter für Elektrolyseure (UC 2.1) zur Unterstützung der grünen
Wasserstoffproduktion
Festkörper-Leistungsschalter (UC 2.2) für Netzschutz und fortschrittliche
Batteriespeicher
Diese Demonstratoren werden die technische Machbarkeit und
Leistungsfähigkeit von SiC-Modulen unter realen Einsatzbedingungen validieren.
Zusammengenommen sollen diese Aktivitäten Europa an die Spitze nachhaltiger,
hochleistungsfähiger Leistungselektronik bringen – auf Basis von
Siliziumkarbid. (bs)
Autoren
Dr.
Sebastian Fritzsche, Manager Technology Scouting bei Heraeus Electronics,
Dirk
Brauer, Research & Innovation Director bei Valeo eAutomotive Germany