Wafer dienen als Grundlage für die Herstellung von Mikrochips, die in nahezu allen gängigen elektronischen Geräten zum Einsatz kommen. Halbleiterfabs arbeiten mit höchster Präzision, um diese Wafer unter kontrollierten Bedingungen zu verarbeiten.

Wafer dienen als Grundlage für die Herstellung von Mikrochips, die in nahezu allen gängigen elektronischen Geräten zum Einsatz kommen. Halbleiterfabs arbeiten mit höchster Präzision, um diese Wafer unter kontrollierten Bedingungen zu verarbeiten. (Bild: xiaoliangge @ AdobeStock)

Halbleiter sind die Grundlage der modernen Elektronik – von Smartphones und Computern bis hin zu Autos und Industrieanlagen. Hinter diesen winzigen, leistungsfähigen Bauteilen stehen jedoch enorme technologische und wirtschaftliche Anstrengungen. Halbleiterfabriken, auch als Fabs bekannt, zählen zu den komplexesten und teuersten Produktionsstätten der Welt. Der Bau einer modernen Halbleiterfab kann mehrere Milliarden Euro kosten, und es dauert mehrere Jahre, bis sie voll betriebsfähig ist. Diese Fabriken benötigen streng kontrollierte Reinräume, in denen die Luft bis zu 10.000-mal sauberer ist als in einem Operationssaal. Selbst ein winziger Staubpartikel könnte die Funktion eines Chips beeinträchtigen.

Fabs produzieren Siliziumchips in mehreren Stufen, wobei Technologien wie die Photolithografie und Ätzverfahren verwendet werden, um Strukturen im Nanometerbereich zu schaffen. Der technologische Fortschritt, beispielsweise mit der Extreme Ultraviolet (EUV)-Lithografie, ermöglicht es, Chips mit immer kleineren Strukturen von weniger als 7 Nanometern zu fertigen. Diese Verfahren sind für die Herstellung von Hochleistungsprozessoren unverzichtbar und treiben Innovationen in Bereichen wie künstlicher Intelligenz, 5G-Netzen und Elektromobilität voran.

Doch wie entstehen diese Chips, und warum sind Fabs so komplex und teuer? Im folgenden Text gehen wir detailliert auf die Funktionsweise, Bedeutung und Herausforderungen solcher hochspezialisierten Produktionsstätten ein.

Was sind Halbleiterfabs und wie funktionieren sie?

Halbleiterfabs, kurz für Halbleiterfabriken, sind hochspezialisierte Produktionsstätten, in denen Halbleiterchips – die zentralen Bausteine nahezu aller modernen Elektronik – hergestellt werden. Diese Fabs sind essenziell für die Produktion von Mikroprozessoren, Speichermodulen und anderen integrierten Schaltkreisen, die in Geräten wie Smartphones, Computern, Automobilen und industriellen Maschinen zum Einsatz kommen. Ohne diese Technologien wäre die moderne Elektronikindustrie schlicht nicht denkbar.

Die strategische Bedeutung von Halbleiterfabs

Halbleiterfabs sind das Rückgrat der modernen Elektronikindustrie und spielen eine zentrale Rolle in der globalen Wirtschaft. Ohne diese hochspezialisierten Produktionsstätten wäre die Herstellung der wesentlichen Bauteile für nahezu alle elektronischen Geräte nicht möglich. Von Smartphones über Computer bis hin zu Elektrofahrzeugen und Industriemaschinen – die Nachfrage nach Halbleitern ist allgegenwärtig und wächst stetig. Daher haben Halbleiterfabs eine immense wirtschaftliche, technologische und strategische Bedeutung.

Unterschiedliche Geschäftsmodelle in der Halbleiterindustrie: Fab, Fabless, Foundry und IDM

Die Halbleiterindustrie ist geprägt von verschiedenen Geschäftsmodellen und Produktionsansätzen, die sich stark auf die Art und Weise auswirken, wie Chips entwickelt und produziert werden. Die wichtigsten Begriffe in diesem Zusammenhang sind Fab, Fabless, Foundry und IDM. Jeder dieser Begriffe beschreibt ein spezifisches Modell, das in der Branche verwendet wird, um die Herstellung von Halbleiterchips zu organisieren.

Fab: Eine Fab ist eine spezialisierte Produktionsstätte für Halbleiterchips, in der alle Schritte der Herstellung durchgeführt werden. Unternehmen wie Intel und Samsung betreiben eigene Fabs, die sehr kapital- und technologieintensiv sind. Diese Anlagen erfordern modernste Technologien und extrem reine Umgebungen.

Fabless: Fabless Unternehmen wie AMD und NVIDIA konzentrieren sich auf Chipdesign und Vermarktung, ohne eigene Produktionsanlagen zu betreiben. Sie lassen ihre Chips von spezialisierten Auftragsfertigern wie TSMC produzieren. Der Vorteil: keine Produktionsrisiken, Fokus auf Forschung und Entwicklung.

Foundry: Foundries sind Fabriken, die ausschließlich für andere Unternehmen Chips fertigen, meist für fabless Firmen. TSMC und GlobalFoundries sind führende Foundries, die modernste Technologien einsetzen und für verschiedene Kunden produzieren.

IDM: Integrated Device Manufacturers (IDMs) wie Intel und Samsung entwickeln, produzieren und verkaufen ihre eigenen Chips. Sie kontrollieren die gesamte Wertschöpfungskette, was ihnen Vorteile bei Qualität und Lieferzeiten bietet, jedoch hohe Kapitalanforderungen erfordert.

 

Der wirtschaftliche Einfluss von Halbleiterfabs

Halbleiterfabs erfordern enorme Investitionen. Der Bau einer modernen Fab kann mehrere Milliarden Euro kosten, da hochmoderne Technologien und Reinraumbedingungen für die Produktion notwendig sind. Unternehmen wie TSMC, Intel oder Samsung investieren kontinuierlich in den Ausbau und die Modernisierung ihrer Fabs, um die wachsende Nachfrage nach leistungsfähigeren und kleineren Chips zu bedienen. Diese Investitionen tragen nicht nur zur Wertschöpfung der Unternehmen bei, sondern schaffen auch Arbeitsplätze und fördern regionale Wirtschaftszentren.

Länder, die über leistungsfähige Halbleiterfabs verfügen, profitieren erheblich von der Wertschöpfungskette, die mit der Halbleiterproduktion verbunden ist. Von Forschung und Entwicklung über Fertigung bis hin zur Exportwirtschaft – die Halbleiterindustrie ist eine treibende Kraft für wirtschaftliches Wachstum und technologische Innovation.

Überblick über die größten Halbleiterfabs weltweit

Fabrik Kapazität Technologien Beschreibung
TSMC Fab 15 – Tainan, Taiwan Über 100.000 Wafer pro Monat (300 mm) 7 nm, 5 nm, 3 nm (EUV-Lithografie) Fab 15 ist eine der größten und modernsten Produktionsstätten von TSMC und spezialisiert auf fortschrittliche Fertigungsprozesse. Die Anlage spielt eine zentrale Rolle bei der Belieferung großer Kunden wie Apple und NVIDIA.
Samsung Fab S3 – Hwaseong, Südkorea Über 90.000 Wafer pro Monat (300 mm) 7 nm, 5 nm, 3 nm Die S3-Fab von Samsung ist eine der größten Halbleiterproduktionsstätten der Welt und nutzt fortschrittliche Fertigungstechnologien, um die neuesten Mobilprozessoren und Hochleistungschips herzustellen.
Intel Fab 42 – Chandler, Arizona, USA Über 80.000 Wafer pro Monat (300 mm) 10 nm, 7 nm Intel Fab 42 ist eine der modernsten Halbleiterfabriken von Intel. Die Anlage produziert Prozessoren für Computer und Server und ist Teil von Intels strategischer Expansion zur Stärkung seiner Produktionskapazitäten in den USA.
GlobalFoundries Fab 8 – Malta, New York, USA Über 60.000 Wafer pro Monat (300 mm) 12 nm, 14 nm Diese Fab ist die größte und technologisch fortschrittlichste Produktionsstätte von GlobalFoundries in den USA. Sie fertigt Chips für Automobil-, Kommunikations- und IoT-Anwendungen.
SMIC Fab 14 – Schanghai, China Über 50.000 Wafer pro Monat (300 mm) 14 nm, 28 nm SMICs Fab 14 ist eine der größten Produktionsstätten Chinas und spielt eine zentrale Rolle in Chinas Bestrebungen, unabhängiger von internationalen Halbleiterherstellern zu werden. Die Anlage produziert Chips für den heimischen Markt und exportorientierte Elektronikprodukte.
TSMC Fab 18 – Tainan, Taiwan Über 100.000 Wafer pro Monat (300 mm) 5 nm, 3 nm (EUV-Lithografie) Fab 18 ist TSMCs neueste und modernste Anlage, spezialisiert auf die Herstellung von Chips mit extrem kleinen Strukturbreiten. Diese Fab wird für die Produktion von Hochleistungschips und Prozessoren genutzt, insbesondere für den Mobilfunk- und Hochleistungsrechenmarkt.
Samsung Fab Pyeongtaek (P1) – Pyeongtaek, Südkorea Über 70.000 Wafer pro Monat (300 mm) 10 nm, 7 nm Die P1-Fab ist Teil des größten Halbleiterkomplexes von Samsung und produziert unter anderem Speicherchips und Prozessoren für die Elektronikindustrie. Samsung plant den weiteren Ausbau dieser Fab, um die Produktion auf fortschrittlichere Prozesse auszurichten.
UMC Fab 12A – Tainan, Taiwan Über 50.000 Wafer pro Monat (300 mm) 28 nm und darüber UMC Fab 12A ist die größte Fab von UMC und spezialisiert auf die Produktion von Chips für Automobil-, Telekommunikations- und Industrieanwendungen. Die Anlage ist besonders für Kunden attraktiv, die bewährte, aber kostengünstigere Technologien benötigen.
Hua Hong Semiconductor Fab 1 – Schanghai, China Über 45.000 Wafer pro Monat (300 mm) 55 nm und darüber Hua Hong Semiconductor ist nach SMIC die zweitgrößte Foundry in China. Fab 1 konzentriert sich auf Chips für den industriellen und automobilen Einsatz sowie Smartcards und Power-Management-ICs.
Micron Technology Fab – Lehi, Utah, USA Über 40.000 Wafer pro Monat (300 mm) DRAM- und NAND-Produktion Micron Technology betreibt in Lehi eine der größten und wichtigsten Fabs für die Produktion von Speicherchips. Diese Fab ist zentral für die Versorgung der globalen Märkte mit DRAM- und NAND-Speicherlösungen.

Technologischer Fortschritt in der Halbleiterfertigung

Die Elektronikbranche ist in hohem Maße auf ständige Innovationen im Halbleiterbereich angewiesen. Neue Entwicklungen in der Halbleiterproduktion, wie beispielsweise die EUV-Lithografie (Extreme Ultraviolet Lithography), ermöglichen es, immer kleinere und leistungsfähigere Chips herzustellen. Dies ist entscheidend, um den wachsenden Anforderungen der Konsumenten und Industrien gerecht zu werden, die nach effizienteren, schnelleren und leistungsstärkeren elektronischen Geräten verlangen.

Halbleiterfabs sind daher nicht nur Produktionsstätten, sondern auch Zentren für technologische Innovation. Sie treiben den Fortschritt in Bereichen wie künstlicher Intelligenz, 5G-Technologie, Elektromobilität und dem Internet der Dinge (IoT) voran. Unternehmen, die über moderne Fabs verfügen, haben einen strategischen Vorteil und können neue Technologien schneller auf den Markt bringen, was ihre Marktposition stärkt.

In einem Reinraum einer Halbleiterfabrik werden Mikrochips unter streng überwachten Bedingungen gefertigt, um die hohen Anforderungen an Präzision und Reinheit zu erfüllen. Die Umgebung ist speziell darauf ausgelegt, Staubpartikel und Verunreinigungen fernzuhalten, die die empfindlichen Produktionsprozesse beeinträchtigen könnten. So wird sichergestellt, dass die Qualität und Zuverlässigkeit der hergestellten Halbleiterprodukte den höchsten Industriestandards entsprechen.
In einem Reinraum einer Halbleiterfabrik werden Mikrochips unter streng überwachten Bedingungen gefertigt, um die hohen Anforderungen an Präzision und Reinheit zu erfüllen. Die Umgebung ist speziell darauf ausgelegt, Staubpartikel und Verunreinigungen fernzuhalten, die die empfindlichen Produktionsprozesse beeinträchtigen könnten. So wird sichergestellt, dass die Qualität und Zuverlässigkeit der hergestellten Halbleiterprodukte den höchsten Industriestandards entsprechen. (Bild: IM Imagery @ AdobeStock)

Geopolitische und strategische Bedeutung

Die Bedeutung von Halbleiterfabs geht jedoch über die reine Wirtschaft hinaus – sie sind auch geopolitisch und strategisch von großer Relevanz. Der Halbleitermarkt ist stark globalisiert, aber gleichzeitig konzentriert. Länder wie Taiwan, Südkorea und die USA sind führend in der Halbleiterproduktion, was ihnen einen erheblichen Einfluss auf die globale Elektronikbranche verleiht. Dies hat zur Folge, dass Halbleiterfabs zunehmend als strategische Assets betrachtet werden, die die technologische Souveränität und Sicherheit eines Landes sichern können. Taiwan spielt mit seiner dominierenden Halbleiterindustrie, insbesondere durch den Chip-Giganten TSMC, eine zentrale Rolle in der globalen Technologieversorgung. Die Abhängigkeit westlicher Länder von TSMC schützt Taiwan ("Silicon Shield") teilweise vor einer möglichen militärischen Eskalation durch China, da ein Angriff massive globale Auswirkungen hätte.

Die Abhängigkeit von wenigen globalen Anbietern und Herstellungsstandorten kann jedoch auch Risiken mit sich bringen, wie die Chipknappheit in den letzten Jahren gezeigt hat. Dies hat die Wichtigkeit unterstrichen, in lokale Halbleiterproduktion zu investieren und die Lieferketten zu diversifizieren, um wirtschaftliche und technologische Risiken zu minimieren

Die Funktionsweise einer Halbleiterfab: Vom Siliziumwafer zum fertigen Chip

Halbleiterfabs sind hochkomplexe Produktionsstätten, in denen Siliziumwafer Schritt für Schritt zu funktionsfähigen Halbleiterchips verarbeitet werden. Der gesamte Herstellungsprozess besteht aus mehreren präzisen und genau aufeinander abgestimmten Schritten, die alle in speziell dafür ausgelegten Reinräumen durchgeführt werden. Diese Reinräume sind notwendig, da selbst kleinste Verunreinigungen die empfindlichen Strukturen der Halbleiter beschädigen könnten.

Die wichtigsten Schritte im Produktionsprozess einer Halbleiterfab

  1. Wafer-Herstellung und -Vorbereitung: Der Prozess beginnt mit der Herstellung von Siliziumwafern, die aus hochreinem Silizium gefertigt werden. Diese Wafer sind die Grundlage, auf der die Mikrochips aufgebaut werden. Nach der Herstellung werden die Wafer poliert und gereinigt, um eine makellose, glatte Oberfläche zu gewährleisten, die für die folgenden Schritte erforderlich ist. Wafer sind dünne, scheibenförmige Scheiben aus hochreinem Halbleitermaterial wie Silizium, die als Grundlage für die Herstellung von Mikroelektronik-Komponenten wie integrierten Schaltkreisen und Mikrochips dienen.
  2. Photolithografie: Die Photolithografie ist einer der zentralen Schritte in der Halbleiterfertigung. Hier wird mithilfe von Licht ein Schaltkreismuster auf die Oberfläche des Siliziumwafers übertragen. Dabei kommt eine lichtempfindliche Beschichtung, der sogenannte Photoresist, zum Einsatz, die auf den Wafer aufgebracht wird. Mithilfe einer Maske und einer Lichtquelle wird das Muster auf den Wafer belichtet. Anschließend werden die belichteten Bereiche des Photoresists entfernt, um die darunterliegenden Bereiche des Wafers freizulegen.
  3. Ätzen und Deposition: Nachdem das Schaltkreismuster auf den Wafer übertragen wurde, folgt das Ätzen. Dabei werden die freiliegenden Bereiche des Wafers chemisch oder physikalisch entfernt, um die Struktur des Halbleiters zu formen. Im Anschluss daran werden Materialien wie Metalle oder Isolatoren präzise aufgetragen (Deposition), um die unterschiedlichen Schichten der Halbleiterbauelemente zu bilden.
  4. Dotierung: Die Dotierung ist ein weiterer kritischer Schritt in der Halbleiterherstellung. Hierbei werden gezielt Verunreinigungen (Dotierstoffe) in die Halbleiterschichten eingebracht, um die elektrischen Eigenschaften der Schaltkreise zu verändern und so ihre Funktionalität zu gewährleisten. Diese Dotierstoffe werden mithilfe von Ionenimplantation oder Diffusion in die Schichten eingebracht.
  5. Metallisierung und Verkapselung: Nachdem die Struktur des Chips durch mehrere Zyklen von Photolithografie, Ätzen und Dotieren aufgebaut wurde, erfolgt die Metallisierung. In diesem Schritt werden die Metallverbindungen aufgebracht, die die verschiedenen Komponenten des Chips miteinander verbinden. Diese feinen Leiterbahnen sind notwendig, um die Signale zwischen den Bauelementen zu leiten.
  6. Test und Verpackung: Am Ende des Produktionsprozesses wird der Wafer in kleinere Chips, sogenannte Dies, zerschnitten. Diese Dies werden dann getestet, um sicherzustellen, dass sie den Anforderungen entsprechen. Funktionsfähige Chips werden verkapselt, das heißt in ein Gehäuse eingebaut, das sie vor Umwelteinflüssen schützt und den Anschluss an Leiterplatten ermöglicht.
Während des Photolithografie-Prozesses werden auf einem Siliziumwafer mikroskopisch kleine Strukturen mithilfe von Licht und einer Fotomaske präzise abgebildet. Dieser essenzielle Schritt in der Halbleiterfertigung ermöglicht es, komplexe Schaltkreise auf den Wafern zu erzeugen, die später als Grundlage für Mikrochips dienen
Während des Photolithografie-Prozesses werden auf einem Siliziumwafer mikroskopisch kleine Strukturen mithilfe von Licht und einer Fotomaske präzise abgebildet. Dieser essenzielle Schritt in der Halbleiterfertigung ermöglicht es, komplexe Schaltkreise auf den Wafern zu erzeugen, die später als Grundlage für Mikrochips dienen (Bild: Aleksandr Matveev @ AdobeStock)

Halbleiter-Fabs: Automatisierung auf höchstem Niveau

Die Funktionsweise einer Halbleiterfab basiert auf hochautomatisierten Prozessen. Wafer werden mithilfe von Robotern und automatisierten Systemen durch die verschiedenen Produktionsstufen transportiert, um die Effizienz und Präzision zu maximieren. Gleichzeitig sorgen ausgeklügelte Überwachungssysteme dafür, dass jeder Schritt genau kontrolliert wird und die Produktionsqualität konstant hoch bleibt.

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Struktur und Komponenten einer Halbleiterfab

Halbleiterfabs sind hochkomplexe Produktionsstätten, die auf die Herstellung von Halbleiterchips spezialisiert sind. Sie bestehen aus verschiedenen, präzise aufeinander abgestimmten Komponenten und Bereichen, die alle auf höchste Effizienz und Sauberkeit ausgelegt sind. Die Struktur einer Fab ist darauf ausgelegt, die Produktion von Mikrochips unter kontrollierten Bedingungen zu maximieren und gleichzeitig höchste Qualitätsstandards zu gewährleisten. Hier ist eine detaillierte Übersicht der Struktur und Komponenten einer typischen Halbleiterfab:

  1. Reinräume
  • Funktion: Reinräume sind das Herzstück einer Halbleiterfab. Sie sind spezielle Bereiche, in denen die Luft extrem sauber gehalten wird, um die empfindlichen Halbleiterstrukturen vor Staub und anderen Verunreinigungen zu schützen. Selbst kleinste Partikel könnten die Funktionalität der Mikrochips beeinträchtigen.
  • Klassifizierung: Reinräume werden nach ihrer Luftreinheit klassifiziert, oft nach ISO-Standards (z. B. ISO-Klasse 1). In Halbleiterfabs sind ISO-Klasse 1- oder Klasse-10-Reinräume üblich, in denen weniger als 10 Partikel pro Kubikmeter Luft vorhanden sind, die größer als 0,1 Mikrometer sind. Zum Vergleich: Ein Reinraum der Klasse 1 hat maximal 10.000 Partikel (mit einer Größe von 0,1 Mikrometern oder größer) pro Kubikmeter Luft, während ein normales Fußballstadion etwa 35 Millionen Partikel pro Kubikmeter Luft enthält. In einem solchen Reinraum ist die Luft so sauber, dass sie bis zu 10.000-mal weniger Partikel enthält als die in einem Stadion.
  • Ausstattung: Die Luft in den Reinräumen wird durch spezielle Filtersysteme (HEPA- oder ULPA-Filter) gereinigt. Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Druck werden streng kontrolliert, um die optimalen Bedingungen für die Produktion aufrechtzuerhalten.
  1. Photolithografie-Bereiche
  • Funktion: Die Photolithografie ist einer der zentralen Prozesse in der Halbleiterproduktion. Hier werden die Schaltkreismuster mithilfe von Licht auf die Siliziumwafer übertragen. Dieser Bereich ist hochpräzise und erfordert eine strenge Kontrolle über die Belichtungsbedingungen und die Reinheit.
  • Komponenten: Belichtungsgeräte (Scanner oder Stepper), Masken (mit Schaltkreismustern), lichtempfindliche Beschichtungen (Photoresist) und optische Systeme zur Fokussierung des Lichts auf die Waferoberfläche.
  • Technologie: Modernste Fabs nutzen EUV-Lithografie (Extreme Ultraviolet Lithography), um sehr feine Strukturen im Bereich von wenigen Nanometern auf die Wafer zu projizieren. Diese Technologie erfordert eine besonders aufwändige Ausstattung und spezielle Reinraumbedingungen.
  1. Ätz- und Depositionseinrichtungen
  • Ätzbereiche: In diesen Bereichen werden unerwünschte Materialien von den Wafern entfernt, um die gewünschten Strukturen zu erzeugen. Es gibt zwei Haupttypen von Ätzverfahren:
    • Trockenätzen: Ein Plasma wird verwendet, um Material selektiv zu entfernen.
    • Nassätzen: Chemikalien werden eingesetzt, um Material zu ätzen, wobei der Wafer in eine Flüssigkeit getaucht wird.
  • Deposition: Depositionseinrichtungen tragen Materialien (z. B. Metalle, Halbleitermaterialien, Isolatoren) präzise auf die Waferoberfläche auf. Häufig verwendete Verfahren sind die Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und die Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD).
  • Reinigung und Abscheidung: Nach dem Ätzen und der Deposition durchlaufen die Wafer Reinigungsschritte, um Verunreinigungen zu entfernen, bevor die nächste Materialschicht aufgetragen wird.
  1. Dotierungsanlagen (Ionenimplantation)
  • Funktion: In diesen Bereichen werden Wafer mit Ionen bestimmter Elemente bestrahlt, um die elektrischen Eigenschaften der Halbleiterschichten gezielt zu verändern. Dieser Prozess, bekannt als Dotierung, ist entscheidend, um funktionale Transistoren und andere Halbleiterbauelemente zu erzeugen.
  • Technologie: Ionenimplantationsgeräte beschleunigen Ionen und schießen sie mit hoher Präzision in die Waferoberfläche. Die Tiefe und Konzentration der Dotierung kann dabei genau gesteuert werden, um die gewünschten elektrischen Eigenschaften zu erzielen.
  1. Metallisierungs- und Verkapselungsbereiche
  • Metallisierung: Hier werden leitende Metallschichten auf den Wafer aufgetragen, um die verschiedenen Transistoren und Bauteile auf dem Chip miteinander zu verbinden. Verfahren wie die Sputterdeposition oder die Elektroplattierung werden eingesetzt, um die feinen Leiterbahnen zu erstellen.
  • Verkapselung: Sobald die Chips auf dem Wafer fertiggestellt sind, müssen sie in Gehäuse eingebettet werden, um sie vor äußeren Einflüssen zu schützen und den Anschluss an Leiterplatten zu ermöglichen. Dieser Schritt wird oft außerhalb der Reinräume durchgeführt, aber in speziell kontrollierten Umgebungen.
  1. Automatisierte Wafer-Handlingsysteme
  • Funktion: Halbleiterfabs sind stark automatisiert, um die Effizienz zu maximieren und Fehler zu minimieren. Automatisierte Systeme transportieren die Wafer durch die verschiedenen Produktionsstufen, oft ohne direkten menschlichen Kontakt, um die Reinheit und Präzision zu gewährleisten.
  • Ausstattung: Die Wafer werden in speziellen Transportboxen, den sogenannten FOUPs (Front-Opening Unified Pods), bewegt. Diese Boxen sind so konstruiert, dass sie die Wafer vor Kontamination schützen und eine genaue Positionierung der Wafer in den Maschinen ermöglichen.
  1. Überwachungs- und Kontrollzentralen
  • Funktion: In einer Halbleiterfab werden alle Prozesse und Umgebungsbedingungen kontinuierlich überwacht. Kontrollzentralen sind mit hochentwickelten Systemen ausgestattet, die Produktionsparameter in Echtzeit analysieren und bei Abweichungen sofort reagieren können.
  • Technologie: Sensoren und Kontrollsysteme überwachen Parameter wie Luftreinheit, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Druck. Automatisierte Überwachungssysteme und Maschinen mit integrierter Fehlererkennung (Advanced Process Control, APC) sorgen dafür, dass die Produktion störungsfrei abläuft und die Ausbeute maximiert wird.
  1. Test- und Sortierbereiche
  • Funktion: Nachdem die Wafer die verschiedenen Produktionsprozesse durchlaufen haben, werden sie in Test- und Sortierbereichen überprüft. Hier wird die Qualität jedes einzelnen Chips auf dem Wafer getestet, um sicherzustellen, dass er den Spezifikationen entspricht.
  • Ausstattung: Automatisierte Testgeräte prüfen Parameter wie Geschwindigkeit, Leistungsaufnahme und Funktionalität der Chips. Defekte Chips werden markiert und beim Zerschneiden des Wafers aussortiert.
Ein Techniker inspiziert in einem Reinraum einen Siliziumwafer, um eventuelle Fehler oder Unregelmäßigkeiten zu identifizieren. Mithilfe von fortschrittlichen optischen Geräten wird der Wafer auf mikroskopische Defekte überprüft, die die Funktionalität der darauf basierenden Mikrochips beeinträchtigen könnten.
Ein Techniker inspiziert in einem Reinraum einen Siliziumwafer, um eventuelle Fehler oder Unregelmäßigkeiten zu identifizieren. Mithilfe von fortschrittlichen optischen Geräten wird der Wafer auf mikroskopische Defekte überprüft, die die Funktionalität der darauf basierenden Mikrochips beeinträchtigen könnten. (Bild: ryanking999 @ AdobeStock)

Was sind Halbleiter-Foundries?

Halbleiter-Foundries, auch als Halbleiter-Gießereien oder kurz Foundries bezeichnet, sind spezialisierte Produktionsunternehmen, die im Auftrag anderer Unternehmen Halbleiterchips herstellen. Sie sind eine wesentliche Komponente in der globalen Halbleiterindustrie und ermöglichen es Unternehmen, die selbst keine Produktionskapazitäten besitzen, ihre Chipdesigns in großen Mengen produzieren zu lassen. Foundries sind besonders wichtig für sogenannte Fabless Unternehmen, die sich ausschließlich auf die Entwicklung und das Design von Chips konzentrieren, jedoch keine eigenen Produktionsstätten betreiben.

Im Gegensatz zu traditionellen Halbleiterherstellern, die sowohl die Entwicklung als auch die Produktion ihrer eigenen Chips übernehmen, konzentrieren sich Foundries ausschließlich auf die Herstellung. Unternehmen wie TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Company) oder GlobalFoundries haben sich darauf spezialisiert, maßgeschneiderte Produktionsdienstleistungen anzubieten. Kunden, oft große Technologiekonzerne oder Start-ups, liefern das Chipdesign, und die Foundries setzen dieses Design in fertige Halbleiterprodukte um.

Die Foundries nutzen ihre hochmodernen Fertigungsanlagen und Technologien, um die Chips mit größter Präzision herzustellen. Sie bieten unterschiedliche Technologien und Prozesse an, wie beispielsweise die Fertigung in verschiedenen Nanometerbereichen (z. B. 7 nm, 5 nm, etc.), die entscheidend für die Leistung und Effizienz der Chips sind.

Unterschied zwischen Halbleiter-Foundries und Halbleiter-Fabs

Obwohl der Begriff Fab häufig synonym mit Foundry verwendet wird, gibt es einen wichtigen Unterschied: Eine Fab ist jede Art von Halbleiterproduktionsanlage, während eine Foundry speziell eine Anlage ist, die für Dritte produziert. Während einige Unternehmen ihre eigenen Fabs betreiben, um ihre eigenen Chips herzustellen (z. B. Intel oder Samsung), fokussieren sich Foundries wie TSMC oder SMIC auf die Auftragsfertigung für andere.

Bedeutung von Halbleiter-Foundries für die Industrie

Halbleiter-Foundries sind essenziell für die globale Elektronik- und Halbleiterindustrie, da sie es Unternehmen ermöglichen, ihre Chips effizient und kostengünstig herzustellen, ohne in eigene Produktionskapazitäten investieren zu müssen. Dies hat zur Entstehung des Fabless-Modells geführt, bei dem Unternehmen wie Qualcomm, NVIDIA oder AMD ihre Designs bei Foundries fertigen lassen, während sie sich auf Forschung, Entwicklung und Vermarktung konzentrieren.

Die starke Abhängigkeit vieler großer Technologiekonzerne von Foundries hat diese zu strategisch wichtigen Akteuren gemacht. Insbesondere TSMC, als weltweit führende Foundry, spielt eine zentrale Rolle in der Halbleiterproduktion und ist ein unverzichtbarer Partner für viele Unternehmen, die Spitzentechnologien wie KI-Prozessoren, Mobilchips und Hochleistungsrechner-Chips entwickeln.

Eine Maschine setzt präzise Mikrochips (Dies) auf ein Trägerboard während der Halbleiterfertigung. Dieser Schritt, das sogenannte "Die Bonding", ist ein zentraler Teil des Montageprozesses, bei dem die empfindlichen Halbleiterkomponenten fest auf das Substrat platziert werden.
Eine Maschine setzt präzise Mikrochips (Dies) auf ein Trägerboard während der Halbleiterfertigung. Dieser Schritt, das sogenannte "Die Bonding", ist ein zentraler Teil des Montageprozesses, bei dem die empfindlichen Halbleiterkomponenten fest auf das Substrat platziert werden. (Bild: IM Imagery @ AdobeStock)

Gründe für die geografische Lage und Standortwahl von Halbleiterfabs

Die Wahl des Standorts für Halbleiterfabs ist ein strategischer und hochkomplexer Prozess, der von verschiedenen Faktoren beeinflusst wird. Unternehmen berücksichtigen dabei nicht nur wirtschaftliche, sondern auch technologische, infrastrukturelle und geopolitische Aspekte. Die geografische Lage einer Halbleiterfab hat direkte Auswirkungen auf die Effizienz, die Produktionskosten und die langfristige Wettbewerbsfähigkeit. Hier sind die wichtigsten Gründe für die Standortwahl:

  1. Verfügbarkeit qualifizierter Arbeitskräfte
  • Halbleiterfabs benötigen hochqualifiziertes Personal, darunter Ingenieure, Techniker und IT-Spezialisten. Der Standort einer Fab wird oft in Regionen gewählt, die eine starke technische Ausbildung und Universitäten mit entsprechenden Fachrichtungen bieten. Taiwan, Südkorea und die USA (insbesondere Kalifornien und Arizona) sind Beispiele für Regionen, die über einen großen Pool an Fachkräften verfügen, die speziell für die Halbleiterindustrie ausgebildet sind. Aber auch in Deutschland gibt es Halbleiter-Cluster wie etwa Silicon Saxony.
  1. Infrastruktur und Versorgungssicherheit
  • Eine zuverlässige Infrastruktur ist entscheidend für den Betrieb einer Halbleiterfab. Dazu gehören eine stabile Stromversorgung, Zugang zu sauberem Wasser (für die Kühlung und Reinigung von Wafern), schnelle Internetverbindungen und moderne Verkehrsanbindungen. Länder wie Taiwan und Südkorea haben gezielt in den Ausbau ihrer Infrastruktur investiert, um die Attraktivität für Halbleiterhersteller zu erhöhen.
  • Zusätzlich ist eine sichere Versorgung mit wichtigen Rohstoffen und Chemikalien notwendig, um die Produktion reibungslos zu gewährleisten. Regionen mit gut ausgebauten Hafenanlagen und Logistiknetzwerken, wie Hsinchu in Taiwan, sind daher besonders beliebt.
  1. Nähe zu wichtigen Kunden und Märkten
  • Halbleiterhersteller legen oft großen Wert auf die Nähe zu ihren wichtigsten Kunden und Märkten. Dadurch können Lieferketten verkürzt und Produktionszeiten minimiert werden. Besonders in Asien haben sich Standorte etabliert, die in unmittelbarer Nähe zu wichtigen Elektronikunternehmen wie Samsung, LG oder Foxconn liegen.
  • In den USA, speziell in Kalifornien (Silicon Valley), haben Unternehmen wie Intel oder TSMC neue Fabs gebaut, um die direkte Anbindung an die Technologieunternehmen vor Ort zu optimieren und schnell auf die Anforderungen der Kunden reagieren zu können.
  1. Geopolitische und wirtschaftliche Rahmenbedingungen
  • Länder bieten oft Steueranreize, Subventionen und weitere Vergünstigungen, um Halbleiterunternehmen anzulocken. Die USA (mit Programmen wie dem CHIPS Act), die EU (mit dem European Chips Act) und auch China setzen gezielt auf staatliche Förderungen, um die Ansiedlung von Fabs zu fördern und ihre eigene Halbleiterindustrie zu stärken.
  • Geopolitische Faktoren spielen ebenfalls eine Rolle. Angesichts der zunehmenden Spannungen zwischen den USA und China versuchen viele Halbleiterunternehmen, ihre Abhängigkeiten zu diversifizieren und Produktionskapazitäten in verschiedenen Regionen aufzubauen, um das Risiko von Exportbeschränkungen oder Zöllen zu minimieren.
  1. Zugang zu modernsten Technologien und Forschungszentren
  • Viele Halbleiterfabs werden in der Nähe von Technologieclustern oder Forschungszentren angesiedelt, um den Zugang zu modernster Forschung und Entwicklung zu gewährleisten. Standorte wie Hsinchu (Taiwan) oder Silicon Valley (USA) sind Beispiele für Regionen, die stark mit Universitäten und Forschungseinrichtungen vernetzt sind. Diese Zusammenarbeit ermöglicht es, Innovationen schnell in die Produktion zu integrieren und technologische Vorteile zu nutzen.

Wo gibt es die meisten Halbleiterfabs?

Die meisten Halbleiterfabs befinden sich in Asien, insbesondere in Taiwan, Südkorea, Japan und China. Diese Länder haben sich als globale Zentren der Halbleiterproduktion etabliert und beherbergen die weltweit größten und modernsten Halbleiterunternehmen. Hier ist eine Übersicht der Regionen, in denen sich die meisten Halbleiterfabs befinden:

  1. Taiwan
  • Fabs und Unternehmen: Taiwan ist Heimat des weltweit größten Auftragsfertigers, TSMC, sowie United Microelectronics Corporation (UMC). Die meisten Halbleiterfabs des Landes befinden sich in Hsinchu, Taichung und Tainan, wo sich auch Technologiekorridore und Forschungseinrichtungen befinden.
  • Grund: Taiwan hat in den letzten Jahrzehnten stark in den Ausbau seiner Halbleiterindustrie investiert und bietet eine hochentwickelte Infrastruktur sowie Zugang zu qualifizierten Arbeitskräften. Zudem gibt es intensive Kooperationen mit lokalen Universitäten und Forschungszentren.
  1. Südkorea
  • Fabs und Unternehmen: Südkorea beheimatet Samsung Electronics und SK Hynix, zwei der weltweit größten Halbleiterhersteller. Die Fabs befinden sich hauptsächlich in Hwaseong, Pyeongtaek und Icheon.
  • Grund: Die südkoreanische Regierung unterstützt die Halbleiterindustrie mit Subventionen und Förderprogrammen, um den technologischen Vorsprung zu sichern. Das Land hat sich zu einem globalen Zentrum für Speicherchips und High-End-Prozessoren entwickelt.
  1. China
  • Fabs und Unternehmen: In China gibt es eine Vielzahl von Halbleiterfabs, vor allem von SMIC (Semiconductor Manufacturing International Corporation) und Hua Hong Semiconductor. Schanghai, Peking und Shenzhen sind die wichtigsten Standorte.
  • Grund: China investiert massiv in den Ausbau seiner Halbleiterkapazitäten, um technologisch unabhängiger zu werden. Es werden erhebliche staatliche Subventionen und Anreize für Unternehmen angeboten, um Produktionsstätten im Land zu errichten.
  1. Japan
  • Fabs und Unternehmen: Japan ist die Heimat zahlreicher Halbleiterunternehmen wie Renesas, Toshiba (jetzt Kioxia) und Sony Semiconductor. Wichtige Standorte sind Yokkaichi, Kumamoto und Osaka.
  • Grund: Japan verfügt über eine lange Tradition in der Halbleiterproduktion und hat einen starken Fokus auf die Herstellung von Speicherchips und Bildsensoren. Das Land hat seine Infrastruktur stark entwickelt, um den Bedarf an Halbleitern in der Elektronikindustrie zu decken.
  1. USA
  • Fabs und Unternehmen: In den USA befinden sich viele Halbleiterfabs, insbesondere von Intel, GlobalFoundries und Micron. Bedeutende Standorte sind Arizona, Kalifornien (Silicon Valley), New York und Texas.
  • Grund: Die USA haben eine starke Halbleitertradition und investieren gezielt in den Ausbau ihrer Produktionskapazitäten (z. B. durch den CHIPS Act). Viele Unternehmen bauen derzeit ihre Kapazitäten aus, um die Abhängigkeit von Asien zu reduzieren und die nationale Sicherheit zu stärken.
  1. Europa
  • Fabs und Unternehmen: In Europa gibt es eine kleinere, aber dennoch bedeutende Anzahl an Halbleiterfabs, hauptsächlich von GlobalFoundries, Infineon und STMicroelectronics. Die wichtigsten Standorte sind Dresden (Deutschland), Crolles (Frankreich) und Agrate (Italien).
  • Grund: Die europäische Halbleiterindustrie ist auf bestimmte Märkte wie Automotive-Chips und industrielle Anwendungen spezialisiert. Mit Initiativen wie dem European Chips Act versucht die EU, ihre Halbleiterkapazitäten auszubauen, um unabhängiger von Asien und den USA zu werden.

Die meisten Halbleiterfabs weltweit befinden sich in Asien, vor allem in Taiwan, Südkorea, China und Japan. Diese Regionen haben sich als globale Zentren etabliert und profitieren von einer starken staatlichen Unterstützung, hochentwickelter Infrastruktur und einem großen Pool an qualifizierten Arbeitskräften. Die USA und Europa sind ebenfalls bedeutende Standorte, jedoch konzentrieren sie sich vermehrt auf spezielle Nischenmärkte und bauen derzeit ihre Kapazitäten aus, um im globalen Wettbewerb konkurrenzfähig zu bleiben.

Europas Bestrebungen zur Errichtung eigener Halbleiterfabs

Europa hat in den letzten Jahren verstärkt Anstrengungen unternommen, um die Abhängigkeit von asiatischen und amerikanischen Halbleiterherstellern zu verringern und eine eigene, wettbewerbsfähige Halbleiterindustrie aufzubauen. Diese Bestrebungen zielen darauf ab, Europas technologische Souveränität zu stärken, strategische Lieferketten abzusichern und die lokale Wirtschaft zu fördern. Der Fokus liegt dabei auf der Förderung neuer Halbleiterfabs sowie auf der Unterstützung und Modernisierung bestehender Standorte. Hier sind die wichtigsten Maßnahmen und Initiativen:

  1. Der European Chips Act
  • Ziele: Die EU hat den European Chips Act ins Leben gerufen, um die Produktion von Halbleitern in Europa bis 2030 zu verdoppeln. Das Ziel ist es, den globalen Marktanteil Europas von derzeit rund 10 % auf 20 % zu erhöhen. Dazu sollen erhebliche Investitionen in die Errichtung neuer Halbleiterfabs und die Erweiterung bestehender Anlagen fließen.
  • Fördermaßnahmen: Der Chips Act sieht Subventionen und finanzielle Anreize für Unternehmen vor, die neue Fabs in Europa bauen oder bestehende Produktionskapazitäten modernisieren. Die EU stellt Milliardenbeträge zur Verfügung, um Technologieunternehmen und Investoren zu ermutigen, in Europa zu investieren und die Halbleiterproduktion zu erweitern.
  1. Ansiedlung internationaler Halbleiterunternehmen
  1. Fokus auf Schlüsseltechnologien und Nischenmärkte
  • Europa setzt auf die Entwicklung von Halbleitertechnologien, die insbesondere für die Automobilindustrie, Industrieelektronik und Energieanwendungen relevant sind. Durch die Fokussierung auf diese Märkte und die Förderung entsprechender Produktionskapazitäten soll Europa in diesen Bereichen die globale Führungsposition ausbauen.
  • Die Unterstützung für Siliziumkarbid- und Galliumnitrid-Technologien, die für Leistungselektronik und Hochfrequenzanwendungen essenziell sind, ist ein weiterer Schwerpunkt. Diese Technologien sind entscheidend für Anwendungen in Elektrofahrzeugen und der erneuerbaren Energieversorgung.
  1. Modernisierung und Ausbau bestehender Standorte
  • Dresden (Deutschland): Dresden ist ein bedeutendes Zentrum für Halbleiterproduktion in Europa und Heimat großer Fabs von GlobalFoundries und Infineon. Die EU und die deutsche Regierung fördern den Ausbau und die Modernisierung dieser Standorte, um sie für die Herstellung fortschrittlicher Chips auszurüsten. Infineon hat beispielsweise eine Milliardeninvestition angekündigt, um eine neue Produktionslinie für Leistungshalbleiter zu bauen.
  • Crolles (Frankreich): Der Standort Crolles in Frankreich ist ebenfalls ein Schlüsselstandort der europäischen Halbleiterindustrie. STMicroelectronics plant dort zusammen mit GlobalFoundries den Ausbau und die Weiterentwicklung der Produktion, um die Kapazitäten für komplexere Halbleitertechnologien zu erhöhen.
  1. Stärkung von Forschung und Entwicklung
  • Kooperationen und Clusterbildung: Um die technologische Führungsposition zu stärken, setzt Europa auf eine enge Kooperation zwischen Industrie, Universitäten und Forschungseinrichtungen. Technologiekorridore wie das „Silicon Saxony“-Cluster in Dresden und die Grenoble-Region in Frankreich sind Beispiele für europäische Halbleitercluster, die Forschung und Entwicklung mit industrieller Produktion verknüpfen.
  • Förderung von Innovationen: EU-Programme wie Horizon Europe fördern die Forschung in Schlüsseltechnologien wie EUV-Lithografie, fortschrittlichen Materialien (z. B. Siliziumkarbid) und neuen Halbleiterarchitekturen. Diese Förderung soll sicherstellen, dass Europa in den Bereichen Automobil- und Leistungshalbleiter sowie bei Spezialchips eine Vorreiterrolle einnimmt.

Europa verfolgt eine umfassende Strategie, um die Halbleiterproduktion im eigenen Kontinent zu stärken und technologisch unabhängiger zu werden. Mit dem European Chips Act, der Förderung internationaler und lokaler Akteure sowie der Fokussierung auf spezielle Technologien und Nischenmärkte, strebt die EU an, bis 2030 eine führende Rolle in der Halbleiterproduktion einzunehmen. Die Modernisierung bestehender Standorte und die Stärkung der Forschung und Entwicklung sind zentrale Elemente dieser Strategie, die Europa langfristig eine stabile und wettbewerbsfähige Position im globalen Halbleitermarkt sichern

Der Autor: Martin Probst

Martin Probst
(Bild: Hüthig)

Zunächst mit einer Ausbildung zum Bankkaufmann in eine ganz andere Richtung gestartet, fand Martin Probst aber doch noch zum Fachjournalismus. Aus dem Motto „Irgendwas mit Medien“ entwickelte sich nach ein wenig Praxiserfahrungen während des Medienmanagement-Studiums schnell das Ziel in den Journalismus einzusteigen. Gepaart mit einer Affinität zu Internet und Internetkultur sowie einem Faible für Technik und Elektronik war der Schritt in den Fachjournalismus – sowohl Online als auch Print – ein leichter. Neben der Elektronik auch an Wirtschafts- und Finanzthemen sowie dem Zusammenspiel derer interessiert – manche Sachen wird man glücklicherweise nicht so einfach los. Ansonsten ist an ihn noch ein kleiner Geek verloren gegangen, denn alles was irgendwie mit Gaming, PCs, eSports, Comics, (Science)-Fiction etc. zu tun hat, ist bei ihm gut aufgehoben.

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